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| 极紫外多层膜技术的研究进展 | |
| 引用本文： | 李超逸,陶保全,郭祥帅,匡尚奇.极紫外多层膜技术的研究进展[J].量子光学学报,2020,26(4):397-408. |
| 作者姓名： | 李超逸 陶保全 郭祥帅 匡尚奇 |
| 作者单位： | 长春理工大学 理学院,长春 130022 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;吉林省科技发展计划 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 极紫外多层膜 多层膜表征 多层膜设计 多层膜制备 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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