| GeSi/Si异质结光波导光栅耦合器的设计与模拟 |
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| 引用本文： | 徐勤昌,刘淑平.GeSi/Si异质结光波导光栅耦合器的设计与模拟[J].量子光学学报,2008,14(4). |
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| 作者姓名： | 徐勤昌 刘淑平 |
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| 作者单位： | 太原科技大学,山西,太原,030024 |
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| 摘 要： | GeSi/Si异质结光波导是硅基光电集成(OEIC)领域一种重要的连接器件,研究其光的输入耦合,提高耦合效率有着重要的意义.通过分析导模-辐射模的耦合理论求得光栅耦合器的辐射损耗系数,设计分析了波导层厚度为2500 nm,入射波长为1300 nm的单模Ge0.05Si0.95/Si异质结波导光栅耦合器的周期、长度和槽深,得出从空气中输入角为75°(从衬底中入射角为16°)时,周期为0.512 μm,槽宽为0.256 μm,光栅长度为2.3 mm,从空气侧输入时耦合效率为22.5%,从衬底输入时耦合效率为46.3%,并对其输入、输出光场进行了数值模拟.
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| 关 键 词： | GeSi/Si异质结 光电集成 光栅耦合器 |
Design and Simulation of the the GeSi/Si Heterostructure Optical Waveguide Grating Coupler |
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| XU Qin-chang,LIU Shu-ping.Design and Simulation of the the GeSi/Si Heterostructure Optical Waveguide Grating Coupler[J].Acta Sinica Quantum Optica,2008,14(4). |
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| Authors: | XU Qin-chang LIU Shu-ping |
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