| 滚转角误差的光学精密测量技术研究 |
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| 引用本文： | 马军山,王向朝,方祖捷.滚转角误差的光学精密测量技术研究[J].光学学报,2000,20(10):403-1406. |
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| 作者姓名： | 马军山 王向朝 方祖捷 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 基金项目： | 日本尼康公司生产技术本部资助项目 |
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| 摘 要： | 提出了基于两点法的精密移动台滚转角测量新方法,可以将移动台滚转角误差与参考镜角形状误差分离开来.实验结果表明,滚转角误差的测量重复性精度可达0.05',这个值是由测量系统稳定性决定的.
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| 关 键 词： | 滚转角误差测量 角度传感器 光学精密测量技术 |
| 收稿时间： | 2000/1/4 |
Optical Precision Measurement Technique of Rolling Error |
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| Ma Junshan,Wang Xiangzhao,Fang Zujie.Optical Precision Measurement Technique of Rolling Error[J].Acta Optica Sinica,2000,20(10):403-1406. |
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| Authors: | Ma Junshan Wang Xiangzhao Fang Zujie |
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| Abstract: | A new method to measure rolling of a precision stage using the two- pointmethod is presented.The rolling of stage and the rolling angle profile can be separated from each other by using the angle sensor output data. Experimental results showed that the rolling can be measured to 0 .0 5" determined by the stability of the rolling measurementsystem. |
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| Keywords: | rolling measurement angle sensor error separate |
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