| 穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法 |
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| 引用本文： | 孟泽江,李思坤,王向朝,步扬,戴凤钊,杨朝兴.穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法[J].光学学报,2019,39(9):140-151. |
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| 作者姓名： | 孟泽江 李思坤 王向朝 步扬 戴凤钊 杨朝兴 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049 |
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| 基金项目： | 国家科技重大专项;国家科技重大专项;国家自然科学基金;上海市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 针对穆勒矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法,将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配,建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线性模型。针对解析式复杂的随机方位角误差,从统计学角度提出了一种等效噪声模型以分析其对测量结果的影响。采用上述简化方法系统分析了椭偏仪的6种系统误差源和2种随机误差源对穆勒矩阵测量结果的影响,并以一个典型光刻投影物镜的穆勒光瞳为检测对象,进行了检测仿真。仿真结果验证了所提方法分析的准确性。
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| 关 键 词： | 成像系统 光刻 偏振像差检测 穆勒矩阵成像椭偏仪 误差分析 |
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