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| 相对角差法重建大口径平面光学元件面形 | |
| 引用本文： | 巫玲,陈念年,范勇,叶一东.相对角差法重建大口径平面光学元件面形[J].光学学报,2019,39(6):304-311. |
| 作者姓名： | 巫玲 陈念年 范勇 叶一东 |
| 作者单位： | 西南科技大学计算机科学与技术学院,四川绵阳,621010;中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川绵阳,621900 |
| 摘 要： | 针对已有的相对角差法面形检测的原理验证装置,提出了一种具有更高稳健性的最小二乘积分面形重建算法。利用相对角差改写了经典最小二乘积分技术的代价函数,避免了积分重建中的测量误差累积的问题,空间复杂度和时间复杂度仍分别为O(N~2)和O(N~3)。仿真结果表明,本文算法的稳健性显著优于Zernike波前重建法与基于样条的最小二乘积分法(SLI);实验结果证明,本文算法可适用于大口径角差法面形检测。 |
| 关 键 词： | 测量 面形检测 角差法 相对测量 最小二乘积分重建 大口径平面光学元件 |
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