| 离子束刻蚀软X射线透射光栅实验研究 |
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| 引用本文： | 傅绍军,唐永建.离子束刻蚀软X射线透射光栅实验研究[J].光学学报,1992,12(9):25-829. |
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| 作者姓名： | 傅绍军 唐永建 |
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| 作者单位： | 中国科技大学国家同步辐射实验室 合肥230026
(傅绍军，洪义麟，陶晓明，苏永刚)，中国工程物理研究院核物理与化学研究所 成都610003
(唐永建，郑志坚)，中国工程物理研究院核物理与化学研究所 成都610003(唐道源) |
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| 摘 要： | 利用全息-离子束刻蚀方法研制出了聚酰亚胺薄膜为衬底的金软X射线透射光栅.研究了光栅制作中曝光量、显影条件和离子束刻蚀工艺等因素对光栅参数的影响,并给出了在惯性约束激光核聚变实验研究中的应用结果,
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| 关 键 词： | 离子束刻蚀 软X射线 透射 光栅 |
| 收稿时间： | 1991/9/9 |
Investigation of soft X-ray transmission grating made by ion beam etching technique |
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| Pu SHAOJUN HONG YILIN TAO XIAOMING Su YONGGANG.Investigation of soft X-ray transmission grating made by ion beam etching technique[J].Acta Optica Sinica,1992,12(9):25-829. |
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| Authors: | Pu SHAOJUN HONG YILIN TAO XIAOMING Su YONGGANG |
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| Abstract: | Soft X-ray gold transmission grating with polyimide membrance substrate is fabricated by holograph-ion beam etching technique. The exposure, development and etch conditions for fabricating grating are investigated and its experimental results used in inertial confinement fusion are given in this paper. |
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| Keywords: | ion beam etching soft X-ray transmission grating |
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