损耗均匀且平顶的蚀刻衍射光栅波长路由器

提出了一种弧形齿面蚀刻衍射光栅波长路由器,通过合理设计齿面形状,可以同时提高器件的损耗均匀特性和频谱通带带宽。设计了基于InP平台,中心波长1550nm,通道间隔400GHz的4×4波长路由器。仿真结果显示,各通道之间的损耗差异可由8.1dB减小到0.8dB,频谱响应形状为平顶,1dB带宽由0.3nm增加到1.6nm,并可以通过调整设计参数,平衡器件的损耗均匀程度、带宽和整体损耗。实验结果显示,各通道间差异为3.1dB,1dB带宽约为1.1nm,器件串扰低于-12dB,验证了该方法的正确性。该方法无需增加器件尺寸或引入额外结构,可应用于任何材料平台的蚀刻衍射光栅器件。