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| 单一蒸发源膜厚分布的均匀性 | |
| 引用本文： | 付秀华,赵迪,卢成,马国俊,鲍刚华.单一蒸发源膜厚分布的均匀性[J].光学学报,2019,39(12):417-421. |
| 作者姓名： | 付秀华 赵迪 卢成 马国俊 鲍刚华 |
| 作者单位： | 长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022;成都国泰真空设备有限公司,四川成都611130 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 薄膜 光学镀膜 膜厚均匀性 修正板 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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