| 行波电极硅-有机复合集成电光调制器理论分析与实验研究 |
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| 引用本文： | 周子涵,巢萌,苏鑫鑫,陈卓,刘若男,薄淑晖,李志华,武震林,赵明山,韩秀友.行波电极硅-有机复合集成电光调制器理论分析与实验研究[J].光学学报,2023(23):163-172. |
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| 作者姓名： | 周子涵 巢萌 苏鑫鑫 陈卓 刘若男 薄淑晖 李志华 武震林 赵明山 韩秀友 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学光电工程与仪器科学学院;2. 中国科学院理化技术研究所;3. 中国科学院微电子研究所 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金面上项目（62075026,61875028）；;辽宁省“兴辽英才计划”科技创新领军人才项目（XLYC2002111）；;中央高校基本科研业务费重点专项（DUT22ZD202）； |
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| 摘 要： | 对基于行波电极的硅-有机复合集成电光调制器进行研究，构建调制器的波导电极结构模型，分析特征阻抗和微波有效折射率对调制器频率响应的影响。通过对电极结构的仿真优化，完成调制器芯片的设计与制备，研究电光聚合物材料的片上极化工艺，得到高性能硅-有机复合集成电光调制器。对研制调制器电极的电学S(Scatter)参数进行测试，分析得到的电极特征阻抗和有效折射率与仿真设计结果基本相符。测试得到电光调制器的3 dB带宽大于50 GHz。
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| 关 键 词： | 集成光学 电光调制器 硅-有机复合集成 行波电极 3 dB带宽 |
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