| 三极结构四针状纳米ZnO场致发射显示器的研究 |
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| 引用本文： | 林志贤,郭太良.三极结构四针状纳米ZnO场致发射显示器的研究[J].光学学报,2009,29(2). |
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| 作者姓名： | 林志贤 郭太良 |
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| 作者单位： | 福州大学物理与信息工程学院,福建,福州,350002 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，福建省科技重大专项基金，福建省科技三项基金 |
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| 摘 要： | 针对二极式场致发射显示器(field emission display, FED)驱动电压过高的问题, 设计制作了前栅极式三极结构纳米ZnO场致发射显示器, 并进行了场致发射实验, 验证这种结构的可行性.前栅极结构采用喷砂工艺结合光刻技术, 制作出微细的栅孔结构, 实现了较低电压的控制.同时对影响场致发射性能的栅极电压、栅孔开口尺寸和介质层厚度进行了分析讨论.实验结果表明:采用三极结构四针状纳米ZnO场致发射显示器具有良好的发射性能, 是一种有前途的场致发射显示器.
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| 关 键 词： | 光电子学 场致发射 四针状氧化锌 三极结构 发射性能 |
Tetrapod-Like Nano ZnO Field Emission Display with Triode Structure |
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| Lin Zhi-xian,Guo Tai-liang.Tetrapod-Like Nano ZnO Field Emission Display with Triode Structure[J].Acta Optica Sinica,2009,29(2). |
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| Authors: | Lin Zhi-xian Guo Tai-liang |
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