| 用离子束溅射方法制备的钛薄膜表面形貌分析 |
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| 引用本文： | 齐红基,程传福,袁景梅,邵建达,范正修.用离子束溅射方法制备的钛薄膜表面形貌分析[J].光学学报,2003,23(4):80-484. |
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| 作者姓名： | 齐红基 程传福 袁景梅 邵建达 范正修 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 摘 要： | 用离子束溅工艺在K9玻璃基片上沉积Ti薄膜，并用原子力显微镜对其表面形貌进行测量，通过数值相关运算，发现在此工艺条件下薄膜生长界面为各向同性的自仿射分形表面，并用粗糙指数、横向相关长度和标准偏差粗糙度对薄膜样品表面进行定量描述。利用自仿射分形表面的相关函数对数值运算的结果进行拟合，得出Ti薄膜生长界面的粗糙度指数α＝0．72，相应的分形维数Df＝2．28，并由此得到在离子束溅射工艺下Ti薄膜屑于守恒生长的结论，其生长动力学过程可用Kuramoto—Sivashinsky方程来描述。
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| 关 键 词： | 离子束溅射方法 钛薄膜 表面形貌 制备 自仿射分形 测量 生长动力学 |
Morphology Analysis of Titanic Thin Film Prepared by Ion Beam Sputtering |
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| Qi Hongji,Cheng Chuanfu,Yuan Jingmei,Shao Jianda,Fan Zhengxiu.Morphology Analysis of Titanic Thin Film Prepared by Ion Beam Sputtering[J].Acta Optica Sinica,2003,23(4):80-484. |
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| Authors: | Qi Hongji Cheng Chuanfu Yuan Jingmei Shao Jianda Fan Zhengxiu |
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| Keywords: | film optics ion beam sputtering titanium thin films self-affine |
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