| 光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计 |
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| 引用本文： | 冯飞,焦继伟,熊斌,王跃林.光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计[J].光学学报,2004,24(11):543-1546. |
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| 作者姓名： | 冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家 973计划集成微光机电系统研究项目(G19990 3310 1)资助课题 |
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| 摘 要： | 针对提出的一种光读出热成像系统 ,对其焦平面阵列的光学和热学特性进行了详细的分析 ,主要涉及法布里珀罗微腔两个反射面的反射率、可动微镜的温度响应、噪声等效温差以及响应时间四个方面。理论分析表明 :当法布里珀罗微腔两个反射面的反射率为 0 .5时 ,能获得较大的输出反射光强和反衬度 ,并保证了输出反射光强尽可能地随微镜位移在 0～λ/ 4范围内呈线性变化 ;可动微镜的温度响应值可达 2 .0 5× 10 -4,噪声等效温差为19.5mK ,热响应时间为 1.5 4× 10 -3 s。
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| 关 键 词： | 光电子技术 光读出热成像 焦平面阵列 法布里-珀罗微腔 噪声等效温差 |
| 收稿时间： | 2003/7/1 |
Optical and Thermal Design for Optically Readable Thermal Imaging Focal Plane Array |
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| Feng Fei,Jiao Jiwei,Xiong Bin,Wang Yuelin.Optical and Thermal Design for Optically Readable Thermal Imaging Focal Plane Array[J].Acta Optica Sinica,2004,24(11):543-1546. |
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| Authors: | Feng Fei Jiao Jiwei Xiong Bin Wang Yuelin |
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| Abstract: | Optical and thermal properties of a novel optically readable thermal imaging focal plane array (FPA) are analyzed, including reflectivity of two reflective surfaces of Fabry-Perot micro-cavity, temperature response of movable micromirror, noise-equivalent temperature difference (NETD) and thermal response time. Theoretical analysis indicates that when the two reflective surfaces of Fabry-Perot micro-cavity have same reflectivity of 0.5 better reflective light intensity and modulation degree can be achieved and that reflective light intensity varies linearly with the displacement of micro-mirror in the range of 0～λ/4. Temperature response of the movable micromirror, NETD and thermal response time are estimated as 2.05×10-4, 19.5 mK and 1.54×10-3 s, respectively. |
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| Keywords: | photoelectronic technology optically readable thermal imaging focal plane arrays Fabry-Perot micro-cavity noise-equipment temperature difference |
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