正弦相位调制型激光自混合干涉仪的实时位移测量技术 |
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引用本文: | 刘强,王鸣,夏巍,李春成,郝辉,郭冬梅.正弦相位调制型激光自混合干涉仪的实时位移测量技术[J].光学学报,2014(6):178-184. |
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作者姓名: | 刘强 王鸣 夏巍 李春成 郝辉 郭冬梅 |
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作者单位: | 南京师范大学物理科学与技术学院;江苏省光电技术重点实验室; |
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基金项目: | 国家自然科学基金(91123015,61178044);江苏省普通高校研究生科研创新计划(CXLX13_389) |
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摘 要: | 采用正弦相位调制技术与时域解调相位方法相结合,提高激光自混合干涉仪在大量程位移测量中实时测量的准确度和速度。通过在激光器外腔中放置的电光晶体调制器对光束进行正弦相位调制,采用时域解调相位方法解调干涉信号相位。同时满足了大量程位移测量过程中的速度要求以及实现干涉仪位移测量的实时性。实验上,用PI公司高分辨率的商用电动位移平台标定的结果验证了该正弦相位调制激光自混合干涉仪在百毫米级大尺度位移测量中可达到小于0.5μm的位移测量误差。对干涉仪在实时位移测量中的影响测量速度的因素进行了分析,得出了本干涉仪的测速上限。
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关 键 词: | 测量 自混合干涉 相位调制 时域相位解调 实时精密测量 测速上限 |
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