用扫描曝光法制作相息图

用扫描曝光法制作相息图与抽样曝光法相比具有可以连续取样和设备简单的优点。本文提出了一种扫描曝光的方案,其扫描mask的开孔长度不受成象系统的限制。它适用于可以进行变量分离的Kinoform型元件。