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溶胶—凝胶法制备SiO2基片Er^3+:Al2O3光学薄膜
引用本文:王兴军,杨涛,王晶,雷明凯.溶胶—凝胶法制备SiO2基片Er^3+:Al2O3光学薄膜[J].光学学报,2004,24(3):97-400.
作者姓名:王兴军  杨涛  王晶  雷明凯
作者单位:[1]大连理工大学材料工程系表面工程研究室,大连116024 [2]大连铁道学院材料科学与工程系,大连116028
摘    要:用溶胶—凝胶法在SiO2基片上提拉制备了掺Er^3 :Al2O3光学薄膜。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、差热—热重分析仪、X射线衍射仪研究了掺Er^3 :Al2O3光学薄膜的肜貌和结构特性。在900℃烧结后,SiO2基片上提拉15次形成厚度8μm掺摩尔比0.01Er^3 的面心立方结构γ-Al2O3薄膜具有明显(110)择优取向,掺摩尔比0.01Er^3 对γ—Al2O3的品体结构和结晶生长过程木产生显著影响。薄膜具有均匀多孔结构,平均粒径为30~100nm,平均孔径为50~100nm,表面起伏度为10~20nm。掺摩尔比0.01Er^3 :rAl2O3薄膜,获得了中心波长为1.534μm(半峰全宽为36nm)的光敛发光谱。

关 键 词:溶胶-凝胶法  二氧化硅基片  铒离子掺杂  三氧化二铝薄膜  晶体结构  结晶生长
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