| 亚波长结构对10.6 μm的抗反射表面的研制 |
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| 引用本文： | 陈思乡,易新建,李毅.亚波长结构对10.6 μm的抗反射表面的研制[J].光学学报,2001,21(8):001-1003. |
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| 作者姓名： | 陈思乡 易新建 李毅 |
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| 作者单位： | 华中理工大学光电子工程系, |
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| 基金项目： | 国家科委 863高科技 (863 40 9)资助课题 |
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| 摘 要： | 运用等效媒质理论对亚波长结构的抗反射表面进行了分析，设计出了一种抗反射表面结构，并利用二元光学制作工艺技术，对这种表面进行了实验制备。测试结果表明，这种表面结构就像单层抗反射膜一样，具有很好的增透效果，表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率，而刻蚀深度则相当于镀层的四分之一波长的厚度。
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| 关 键 词： | 抗反射 亚波长结构 二元光学 表面结构 红外 |
Design and Fabrication of Antireflection Structured Surfaces |
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| Chen Sixiang,Yi Xinjian,Li Yi.Design and Fabrication of Antireflection Structured Surfaces[J].Acta Optica Sinica,2001,21(8):001-1003. |
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| Authors: | Chen Sixiang Yi Xinjian Li Yi |
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| Abstract: | On the basis of the effective medium theory (EMT), both one dimensional and two dimensional periodic structures of antireflection surface are investigated and anlyzed. The 2 D relief structure pattems for antireflection are designed and fabricated on silicon wafers by binary optical processing methods. This 2 D structure can be used as an alternative to thin film coatings to enhance transmission at the boundary between two different media. |
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| Keywords: | antireflection subwavelength structures binary optics |
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