| 子孔径拼接干涉检测及其精度分析 |
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| 引用本文： | 张蓉竹,杨春林,石琦凯,许乔,蔡邦维.子孔径拼接干涉检测及其精度分析[J].光学学报,2003,23(10):241-1244. |
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| 作者姓名： | 张蓉竹 杨春林 石琦凯 许乔 蔡邦维 |
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| 作者单位： | 1. 四川大学光电系,成都,610064
2. 成都精密光学工程研究中心,成都,610041 |
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| 基金项目： | 惯性约束聚变青年基金 (2 0 0 0 6 )资助课题 |
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| 摘 要： | 介绍了利用小口径干涉仪检测大口径光学元件的方法，从统计的角度出发，详细地推导了子孔径拼接干涉检测技术中拼接参量的具体求解过程，以及使用统计回归方法分析了拼接检测系统精度。并通过实验对该理论进行了实际分析运算。
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| 关 键 词： | 小口径干涉仪 大口径光学元件 子孔径拼接干涉检测 检测精度 强激光系统 |
| 收稿时间： | 2002/7/22 |
Principle and Accuracy of the Stitching Interferometer |
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| Zhang Rongzhu,Yang Chunlin,Shi Qikai,Xu Qiao,Cai Bangwei,Optoelectronics.Principle and Accuracy of the Stitching Interferometer[J].Acta Optica Sinica,2003,23(10):241-1244. |
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| Authors: | Zhang Rongzhu Yang Chunlin Shi Qikai Xu Qiao Cai Bangwei Optoelectronics |
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| Institution: | Received 22 July 2002; revised 16 September 2002 |
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| Abstract: | A kind of method is introduced for inspecting the large aperture optics using a small aperture interferometer. The resolving process of the stitching parameter is discussed based on the statistic method. Furthermore the regressive analyzing method has been used in discussing the stitching accuracy. The experiment and the calculation example are given. |
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| Keywords: | physical optics subaperture stitching inspection accuracy |
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