| 光纤法布里-珀罗微压传感器 |
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| 引用本文： | 朱佳利,王鸣,蔡东艳,贾晟.光纤法布里-珀罗微压传感器[J].光学学报,2014(4):274-277. |
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| 作者姓名： | 朱佳利 王鸣 蔡东艳 贾晟 |
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| 作者单位： | 南京师范大学物理科学与技术学院江苏省光电技术重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(91123015,61178044);江苏省科技厅产学研前瞻性联合研究项目(BY2012005);江苏省光电技术重点实验室开放基金(1640703061-2) |
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| 摘 要： | 设计并研制了一种新型光纤法布里-珀罗压力传感器,通过光刻、硅片刻蚀、阳极键合等微机电系统技术制作而成,适合恶劣环境下、狭小空间内的微压环境压力测量。详细阐述了传感器的结构设计和制作方式。该设计巧妙地利用了光纤法兰盘,保证了光纤端面与敏感膜的平行,从而形成高质量的法布里-珀罗干涉腔。该结构也有利于初始腔长的稳定,减小了传感器误差。建立了实验解调系统,对其压力、温度等特性进行了详细的测试。实验结果表明,在0~0.1MPa的压力范围内,传感器线性度好,重复性高,灵敏度达到了61.6μm/MPa。
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| 关 键 词： | 传感器 微压传感 光纤传感器 法布里-珀罗 微机电系统技术 |
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