|
|||||
|
|
| 声光调QNd:YAG激光二次谐波诱导金硅界面的化学反应 | |
| 引用本文： | 吴惠法,徐惠德,沈仲鑫,屠汉超.声光调QNd:YAG激光二次谐波诱导金硅界面的化学反应[J].光学学报,1983(7). |
| 作者姓名： | 吴惠法 徐惠德 沈仲鑫 屠汉超 |
| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 (吴惠法，徐惠德)，复旦大学物理二系 (沈仲鑫)，上海整流器总厂(屠汉超) |
| 摘 要： | 本文用声光调QNd∶YAG激光二次谐波诱导了Au与P型Si(111)在界面上的化学反应.用X射线衍射仪法、X射线光电子能谱对界面生成物作了化学分析,并用金相显微镜和扫描电子显微镜观察了表面形貌,还用四探针法测量了电阻率变化.分析表明:Au与Si在界面上发生的化学反应,其生成物为金含量逐步变化的硅化物层,如Au_7Si、Au_5Si和Au_3Si等.本文的结果对众所周知的只有一个最低共熔点(370℃)的Au-Si相图是一个补充,它说明了在瞬热和淬冷的条件下的生成物是金硅化物.而不是金硅混合物. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |