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镜面对称法绝对测量中的误差补偿方法
引用本文:何宇航,柴立群,陈波,李强,魏小红,高波.镜面对称法绝对测量中的误差补偿方法[J].光学学报,2013(4):100-104.
作者姓名:何宇航  柴立群  陈波  李强  魏小红  高波
作者单位:成都精密光学工程研究中心
摘    要:提出了一种对镜面对称法绝对测量中的原理性误差进行补偿的方法。镜面对称法绝对测量中,需要旋转其中一块平板,由于旋转次数的有限性,重构的三板波前均存在缺失cNθ项的原理性误差。通过增加一次不同角度的旋转,根据Zernike多项式在极坐标系中形式的旋转不变性,对旋转前后的波前差值求解多项式系数方程,获得了cNθ项的多项式系数,进而对原理性误差进行了补偿。由于cNθ项包含无穷多项,根据精度的需要和计算开销决定补偿的项数。模拟实验证明了该补偿方法的有效性。

关 键 词:测量  误差补偿  Zernike多项式  镜面对称  绝对测量  测量精度
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