| 浮法抛光亚纳米级光滑表面 |
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| 引用本文： | 高宏刚,曹健林.浮法抛光亚纳米级光滑表面[J].光学学报,1995,15(6):24-825. |
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| 作者姓名： | 高宏刚 曹健林 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室 |
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| 摘 要： | 本文是对现阶段进行的超光滑表面浮光抛光研究的简要总结，介绍了浮法抛光原理样机的基本结构，以及实现亚纳米浮法抛光的主要条件，并给出了亚纳米级光滑表面的检测结果。
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| 关 键 词： | 超光滑表面 亚纳米 浮法抛光 表面处理 |
| 收稿时间： | 1994/9/12 |
Float Polishing Subnanometer-Smooth Surface |
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| Gao Honggang, Cao Jianlin, Chen Xingdan.Float Polishing Subnanometer-Smooth Surface[J].Acta Optica Sinica,1995,15(6):24-825. |
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| Authors: | Gao Honggang Cao Jianlin Chen Xingdan |
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| Abstract: | This paper is a summary about our current work on supersmooth surface by float polishing. The basic configuration of a prototype machine is described, and some parameters for polishing subnanometer-smooth surface are presented with the recent measurement results of surface roughness. |
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| Keywords: | supersmooth surface subnanometer float polishing |
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