| 单频偏振激光干涉仪中波片对非线性误差的影响 |
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| 引用本文： | 李立艳,苑勇贵,吴冰,刘彬彬,杨军,苑立波. 单频偏振激光干涉仪中波片对非线性误差的影响[J]. 光学学报, 2011, 0(1): 144-149 |
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| 作者姓名： | 李立艳 苑勇贵 吴冰 刘彬彬 杨军 苑立波 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工程大学理学院光子科学与技术研究中心; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60807032,60877046)资助课题 |
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| 摘 要： | 研究了用于纳米测量的激光干涉仪中光学波片对非线性误差的影响,基于琼斯矩阵理论建立了多波片的误差分析模型,分析了λ/2和λ/4波片引起的干涉仪非线性误差,对波片位置引起的非线性误差进行了实验研究.结果表明,波片位置调整精度对干涉仪测量影响巨大,在0～5°范围内,λ/2波片和λ/4波片引起的非线性误差分别为6.5 nm和9...
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| 关 键 词： | 测量 激光干涉 纳米测量 偏振干涉 波片 非线性误差 |
Effect of Wave Plate on Nonlinear Error in Single-Frequency Polarized Laser Interferometer |
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| Li Liyan Yuan Yonggui Wu Bing Liu Binbin Yang Jun Yuan Libo. Effect of Wave Plate on Nonlinear Error in Single-Frequency Polarized Laser Interferometer[J]. Acta Optica Sinica, 2011, 0(1): 144-149 |
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| Authors: | Li Liyan Yuan Yonggui Wu Bing Liu Binbin Yang Jun Yuan Libo |
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| Affiliation: | Li Liyan Yuan Yonggui Wu Bing Liu Binbin Yang Jun Yuan Libo(Photonics Research Center,School of Science,Harbin Engineering University,Harbin,Heilongjiang 150001,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | measure ment laser interference nano measurement polarization interference wave plate non-linear error |
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