激光薄膜吸收损耗控制研究进展 |
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引用本文: | 温家慧,朱美萍,孙建,李静平,邵建达.激光薄膜吸收损耗控制研究进展[J].光学学报,2022(7):9-22. |
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作者姓名: | 温家慧 朱美萍 孙建 李静平 邵建达 |
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作者单位: | 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室;2. 中国科学院大学材料科学与光电技术学院 |
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摘 要: | 激光技术的不断发展对激光薄膜的光学性能、激光损伤阈值、机械性能等提出了越来越高的要求。具有低吸收损耗的激光薄膜在强激光、精密测量等领域有十分重要的应用。从电子束蒸发和离子束溅射沉积工艺、薄膜材料两个方面,对激光薄膜在吸收损耗控制方面的研究进展进行综述,详细介绍了制备过程中多个环节对薄膜吸收损耗的调控方法,以及单一材料和混合物薄膜的吸收机理、吸收调控方法。
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关 键 词: | 薄膜 吸收损耗 混合材料 电子束蒸发 离子束溅射 |
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