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| 飞秒激光全息加工光学系统搭建与分析 | |
| 引用本文： | 方致伟,苏亚辉,汪超炜,杨亮,汪金礼.飞秒激光全息加工光学系统搭建与分析[J].光学学报,2014,34(2):222002-220. |
| 作者姓名： | 方致伟 苏亚辉 汪超炜 杨亮 汪金礼 |
| 作者单位： | 方致伟:安徽大学物理与材料科学学院, 安徽 合肥 230601 苏亚辉:安徽大学电气工程与自动化学院, 安徽 合肥 230601安徽大学计算智能与信号处理教育部重点实验室, 安徽 合肥 230039 汪超炜:安徽大学电气工程与自动化学院, 安徽 合肥 230601 杨亮:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系, 安徽 合肥 230026 汪金礼:安徽大学电气工程与自动化学院, 安徽 合肥 230601 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51275502，61377006)、安徽省高等学校自然科学基金重点项目（KJ2011A014）、安徽省自然科学基金（1308085ME76）、安徽大学大学生科研训练计划 |
| 摘 要： | 合理的光学系统设计及参数优化是飞秒激光全息并行加工系统功能实现的前提。在分析了飞秒激光全息并行加工系统光路设计要求的基础上,对其中的两个关键点进行了较为深入的研究。采用能量利用率高的斜入射方式照射选用的空间光调制器,得出了后续光路设计的关键参数;通过光学理论推导出空间光调制器与两个透镜组成的4-f系统中最佳光路参数,利用Zemax软件对光路中系统孔径仿真,验证了该方案的合理性;搭建了一套合理高效的飞秒激光全息并行加工系统,实现了7焦点阵列的微透镜和微齿轮并行加工。研究结果表明,该光路设计方案可以实现高效的飞秒激光全息加工过程。 |
| 关 键 词： | 光学设计 全息飞秒激光加工 光学系统设计 空间光调制器 Zemax |
| 收稿时间： | 2013/7/8 |
Analysis and Set Up of Optical System for Holographic Femtosecond Laser Processing |
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| Abstract: | |
| Keywords: | optical design holographic femtosecond laser processing optical system design spatial light modulator Zemax |
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