大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术 |
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引用本文: | 白云波,周游,刘世杰,邵建达,徐隆波.大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术[J].光学学报,2018(9). |
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作者姓名: | 白云波 周游 刘世杰 邵建达 徐隆波 |
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作者单位: | 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室;南京理工大学电子工程与光电技术学院 |
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摘 要: | 提出了基于600mm口径干涉仪的一维子孔径拼接测量方法,通过像素错位误差模拟分析结果,设计并研制了一维大行程气浮型精密扫描拼接平台,实现了对角线接近1m的大口径激光玻璃的全口径光学均匀性拼接检测,并对该技术的拼接测量精度和重复性进行了验证。结果表明:拼接结果平滑,均匀性拼接测量与直接测量结果的相对误差优于2×10-7,全口径均匀性的重复性优于4×10-8,单口径均匀性测量结果与拼接后相同区域的均匀性结果最大差异为2×10-7。
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