基于不等占空比二元光栅的相位测量轮廓术 |
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引用本文: | 陈雨婷,曹益平,陈澄,万莹莹,付光凯,王亚品,王璐.基于不等占空比二元光栅的相位测量轮廓术[J].光学学报,2018(8). |
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作者姓名: | 陈雨婷 曹益平 陈澄 万莹莹 付光凯 王亚品 王璐 |
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作者单位: | 四川大学电子信息学院 |
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摘 要: | 提出了一种基于不等占空比二元光栅的相位测量轮廓术(PMP)。所用的光栅只有0和255两个灰度,消除了投影仪的伽玛非线性对正弦光栅灰度的影响,同时可将投影系统的刷新频率提高一个数量级。所提方法的测量精度高于罗奇光栅离焦投影傅里叶变换轮廓术的,重复精度高于传统正弦光栅PMP。
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