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基于不等占空比二元光栅的相位测量轮廓术
引用本文:陈雨婷,曹益平,陈澄,万莹莹,付光凯,王亚品,王璐.基于不等占空比二元光栅的相位测量轮廓术[J].光学学报,2018(8).
作者姓名:陈雨婷  曹益平  陈澄  万莹莹  付光凯  王亚品  王璐
作者单位:四川大学电子信息学院
摘    要:提出了一种基于不等占空比二元光栅的相位测量轮廓术(PMP)。所用的光栅只有0和255两个灰度,消除了投影仪的伽玛非线性对正弦光栅灰度的影响,同时可将投影系统的刷新频率提高一个数量级。所提方法的测量精度高于罗奇光栅离焦投影傅里叶变换轮廓术的,重复精度高于传统正弦光栅PMP。

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