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折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究
引用本文:许乔,包正康.折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究[J].光学学报,1996,16(9):326-1331.
作者姓名:许乔  包正康
作者单位:浙江大学高技术现代光学中心,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
摘    要:研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法,获得了20×20的折射型微透镜列阵,单元微透镜相对口径为F/2,单元透镜直径为90μm,中心间隔100μm,透镜的波像差小于1.3波长。本文详细阐述了光刻热熔法的基本原理及微透镜设计方法,并讨论了工艺参数对微透镜列阵质量的影响。

关 键 词:微透镜列阵  微光学  光刻胶  光学元件
收稿时间:1995/6/5

Fabrication of Refractive Microlens Array by Melting Photoresist
Xu Qiao,Ye Jun,Zhou Guangya Hou Xiyun,Yang Guoguang.Fabrication of Refractive Microlens Array by Melting Photoresist[J].Acta Optica Sinica,1996,16(9):326-1331.
Authors:Xu Qiao  Ye Jun  Zhou Guangya Hou Xiyun  Yang Guoguang
Abstract:A new method of fabricating refractive microlens by melting photoresist was presented in this paper. The microlens array composed of 20 × 20 F/2 microlens with 90 μm diameter on 100 μm centers have been obtained. The wave aberration of the microlens was estimated less than 1.3 wavelength. The principle of the method and the design model of refractive microlens are described. The effects of fabrication parameters on the quality of the microlens are discussed.
Keywords:microlens arrays    microoptics    measurement    photoresist    
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