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光谱法诊断大气压等离子体电子密度
引用本文:冉俊霞,张少朋,李霞,李红莲,董丽芳.光谱法诊断大气压等离子体电子密度[J].光学学报,2008,28(s2):314-316.
作者姓名:冉俊霞  张少朋  李霞  李红莲  董丽芳
作者单位:冉俊霞:河北大学物理科学与技术学院, 河北 保定 071002
张少朋:河北大学体育教研部, 河北 保定 071002
李霞:河北大学物理科学与技术学院, 河北 保定 071002
李红莲:河北大学质量技术监督学院, 河北 保定 071002
董丽芳:河北大学物理科学与技术学院, 河北 保定 071002
基金项目:国家自然科学基金(10575027)、河北省自然科学基金(A2004000086, 2006000950)和河北大学青年基金(2006Q10)资助课题。
摘    要:采用发射光谱方法对大气压氩气介质阻挡放电(DBD)系统中的电子密度进行了诊断。通过考虑放电等离子体中的各种加宽机制, 采用自编的非对称卷积程序对氩原子发射谱线的线型进行分析拟合, 再通过反卷积的方法将各种加宽机制分离开来, 最终将Stark展宽分离出来进行大气压氩气介质阻挡放电电子密度的计算。诊断结果表明, 在大气压氩气介质阻挡放电中当有三个放电丝存在, 电子温度为10000 K时, 电子密度约为4.06×1021 m-3, 诊断结果和模拟结果符合得很好。此方法不仅可以应用在大气压介质阻挡放电中, 还可以用于其他含有非氢气体的大气压等离子体电子密度的测量。

关 键 词:光谱学  电子密度  Stark加宽  大气压等离子体

Measurement of Electron Density in Plasma at Atmospheric Pressure by Spectroscopy
Abstract:The electron density of dielectric barrier discharge in micro-discharge at atmospheric pressure argon is measured by emission spectral method. Considering various broadening mechanisms of plasma, the unsymmetrical convolution procedure is compiled to fit the experimental spectral line profile, and the Stark broadening profile can be obtained by deconvolution procedure to measure the electron density of plasma. The results show that the electron density in three filamentary micro-discharge at atmospheric pressure argon is 4.06×1021 m-3 if the electron temperature is 10000 K. The diagnosis result is in good agreement with the simulation. The method for measurement of electron density can be used not only in dielectric barrier discharge at atmospheric pressure, but also in other types of non-hydrogen plasma at atmospheric pressure.
Keywords:spectroscopy  electron density  Stark broadening  plasma at atmospheric pressure
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