|
|||||
|
|
| 基于局域场加强的近场纳米加工技术 | |
| 引用本文： | 言峰,周明,范晓萌,张伟.基于局域场加强的近场纳米加工技术[J].光学学报,2008,28(s1):176-180. |
| 作者姓名： | 言峰 周明 范晓萌 张伟 |
| 作者单位： | 言峰:江苏大学光子制造科学技术中心, 江苏 镇江 212013 周明:江苏大学光子制造科学技术中心, 江苏 镇江 212013 范晓萌:江苏大学光子制造科学技术中心, 江苏 镇江 212013 张伟:江苏大学光子制造科学技术中心, 江苏 镇江 212013 |
| 基金项目： | 全国百篇优秀博士毕业论文基金(2006039)、国家自然科学基金(50775104)和国家863计划(2006AA04Z307)资助课题。 |
| 摘 要： | 介绍了一种全新的基于飞秒激光局域场加强效应的纳米加工技术,通过使用了微焦级别脉宽为130 fs、波长800 nm的飞秒激光照射于原子力显微镜的探针针尖,利用其局域场加强效应在金薄膜表面加工出各种纳米图形。对加工参数对加工线宽的影响中,我们发现了随着加工能量的减小和加工速度的不断增大将导致加工线宽不断减小,最终达到了极限线宽(～10 nm)。这项技术可以广泛的应用与各种材料的加工中,尤其适合各种金属薄膜的加工,特别是结合了现有的自动化控制系统更是可以加工出任意复杂的二维纳米图形。 |
| 关 键 词： | 飞秒激光 局域场增强 纳米加工 原子力显微镜 |
Near-Field Nanofabrication Technology Base on Local Field Enhancement Effect |
|
| Abstract: | A new technique base on femtosecond laser local field enhancement effect is proposed. Nanomachining of thin gold films was accomplished by coupling 800 nm femtosecond laser radiation with an atomic froce microscope Si3N4 tip in ambient air by the local field enhancement effect. Possible factors affecting this process are discussed like the speed of the fabrication and the laser fluence. At last we get the high spatial resolution of (～10 nm) (not possible with standard nanomachining techniques). The presented process provides an intriguing means for massive nanofabrication due to the flexibility in the substrate material selection and easy lithograph of complex pattern. |
| Keywords: | femtosecond laser local field enhancement effect nanofabrication atomic force microscope |