| 衬底温度对非极性ZnO薄膜结晶性能和发光特性的影响 |
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| 引用本文： | 贾婷婷,周圣明,林辉,滕浩,侯肖瑞,王建峰,徐科.衬底温度对非极性ZnO薄膜结晶性能和发光特性的影响[J].光学学报,2011(10):144-147. |
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| 作者姓名： | 贾婷婷 周圣明 林辉 滕浩 侯肖瑞 王建峰 徐科 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所中科院强激光材料重点实验室;中国科学院研究生院;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60990311); 上海市科委基础研究重点项目(10JC1415700)资助课题 |
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| 摘 要： | 采用金属有机化学汽相沉积(MOCVD)设备在LiGaO2(100)衬底上制备了结晶性能良好的非极性ZnO薄膜.研究了衬底温度对ZnO薄膜结晶性能的影响.X射线衍射(XRD)分析结果表明在衬底温度为500℃时可以获得高质量的(1100)晶面取向的非极性ZnO薄膜.采用原子力显微镜(AFM)观察ZnO薄膜的表面形貌及晶体尺...
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| 关 键 词： | 光学材料 ZnO薄膜 非极性半导体 LiGaO2 金属有机化学汽相沉积 |
Effect of Substrate Temperature on Crystallization and Luminescence Properties of Nonpolar ZnO Films |
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| Jia Tingting, Zhou Shengming Lin Hui Teng HaoHou Xiaorui, Wang Jianfeng Xu Ke.Effect of Substrate Temperature on Crystallization and Luminescence Properties of Nonpolar ZnO Films[J].Acta Optica Sinica,2011(10):144-147. |
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| Authors: | Jia Tingting Zhou Shengming Lin Hui Teng HaoHou Xiaorui Wang Jianfeng Xu Ke |
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| Institution: | Jia Tingting1,2 Zhou Shengming1 Lin Hui1 Teng Hao1Hou Xiaorui1,2 Wang Jianfeng3 Xu Ke3(1Key Laboratory of Materials for High Power Laser,Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201800,China 2Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China 3Suzhou Institute of Nano-Tech and Nanobionics,Suzhou,Jiangsu 215123,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical meterials ZnO thin films nonpolar semiconductors LiGaO2 metal organic chemical vapor phase deposition |
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