| 角分辨光电子能谱光束线1200line/mm光栅研制 |
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| 引用本文： | 徐向东,刘正坤,邱克强,刘颖,洪义麟,付绍军.角分辨光电子能谱光束线1200line/mm光栅研制[J].光学学报,2011(10):58-62. |
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| 作者姓名： | 徐向东 刘正坤 邱克强 刘颖 洪义麟 付绍军 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(10875128)资助课题 |
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| 摘 要： | 国家同步辐射实验室新建了覆盖5～40 eV的低能区高分辨率角分辨光电子能谱光束线.其球面光栅单色仪包含了三块光栅,即300,600和1200 line/mm球面层式(Laminar)光栅.采用全息离子束刻蚀工艺,在硅光栅基片上成功地刻蚀出1200 line/mm、占空比0.35、槽深35 nm、有效刻划面积大于120 ...
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| 关 键 词： | 衍射光栅 全息光刻 离子束刻蚀 角分辨光电子能谱 |
Fabrication of 1200 line/mm Laminar Grating for ARPES |
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| Xu Xiangdong Liu Zhengkun Qiu Keqiang Liu Ying Hong Yilin Fu Shaojun.Fabrication of 1200 line/mm Laminar Grating for ARPES[J].Acta Optica Sinica,2011(10):58-62. |
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| Authors: | Xu Xiangdong Liu Zhengkun Qiu Keqiang Liu Ying Hong Yilin Fu Shaojun |
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| Institution: | Xu Xiangdong Liu Zhengkun Qiu Keqiang Liu Ying Hong Yilin Fu Shaojun(National Synchrotron Radiation Laboratory,University of Science and Technology of China,Hefei,Anhui 230029,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diffraction grating holographic lithography ion-beam etching angle-resolved photoemission spectroscopy |
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