| 光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析 |
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| 引用本文： | 朱咸昌,伍凡,曹学东,吴时彬,张鹏.光栅衍射法测量微透镜列阵焦距时产生的光斑干扰分析[J].光学学报,2011(11):178-184. |
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| 作者姓名： | 朱咸昌 伍凡 曹学东 吴时彬 张鹏 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所; |
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| 摘 要： | 基于光栅衍射的转角法无需转动光管,与传统的转角法相比具有较高的测量效率.而微透镜阵列元件子单元数众多,利用该方法进行测量时,光栅的各级衍射斑可能发生干扰,影响测量精度甚至无法进行测量.利用Matlab软件模拟分析测量过程中子单元光栅0级和±1级衍射光斑间的干扰,通过分析测量光源波长、光栅周期、微透镜阵列的子孔径和焦距,...
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| 关 键 词： | 光栅衍射 微透镜阵列 焦距测量 转角法 |
Analysis of Focus Dislocation Induced by the Microlens Array Measuring Based on Grating Diffraction |
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| Zhu Xianchang Wu Fan Cao Xuedong Wu Shibin Zhang Peng.Analysis of Focus Dislocation Induced by the Microlens Array Measuring Based on Grating Diffraction[J].Acta Optica Sinica,2011(11):178-184. |
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| Authors: | Zhu Xianchang Wu Fan Cao Xuedong Wu Shibin Zhang Peng |
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| Institution: | Zhu Xianchang Wu Fan Cao Xuedong Wu Shibin Zhang Peng(Institute of Optics and Electronics,Chinese Academy of Sciences,Chengdu,Sichuan 610209,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diffraction grating microlens array focal-length measurement rotation method |
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