用于光学显微成像的无像差双二维微机电系统振镜光束扫描方法 |
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引用本文: | 张国卓,王旭,王允,赵维谦,邱丽荣,崔晗.用于光学显微成像的无像差双二维微机电系统振镜光束扫描方法[J].光学学报,2023(21):78-86. |
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作者姓名: | 张国卓 王旭 王允 赵维谦 邱丽荣 崔晗 |
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作者单位: | 北京理工大学光电学院复杂环境智能感测技术工信部重点实验室 |
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基金项目: | 国家杰出青年科学基金(51825501);;国家自然科学仪器基金(61827826); |
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摘 要: | 光束扫描系统在光学显微成像中扮演着重要的角色,针对现有光束扫描中继系统尺寸、像差较大以及装调精度要求高的问题,提出一种双二维微机电系统(MEMS)振镜光束扫描方法。该方法采用两片二维MEMS振镜进行光束远心扫描,其中,一片MEMS振镜替代传统中继系统中的scan lens和tube lens,避免像差的引入,缩减系统尺寸,最终完成了小型化、结构简单和无像差的光束扫描系统设计。基于该方法构建了小型化共焦扫描显微镜,并对台阶样品进行扫描成像,验证了该方法的可行性。该方法为光学显微成像提供了一种新型的光束扫描手段,可为光学显微成像技术在深空探测、现场检测和生物医学等领域的进一步应用提供一种新的技术途径。
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关 键 词: | 双二维微机电系统振镜 光束扫描 无像差 小型化 扫描成像 共焦 |
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