| 超高Q值光学微腔光谱信号采集系统设计与分析 |
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| 引用本文： | 蔡瑞涛,王梦宇,李雅婷,郭状,张海林,谢成峰,张磊,吴涛,伏燕军.超高Q值光学微腔光谱信号采集系统设计与分析[J].光学学报,2023(5):157-165. |
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| 作者姓名： | 蔡瑞涛 王梦宇 李雅婷 郭状 张海林 谢成峰 张磊 吴涛 伏燕军 |
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| 作者单位： | 1. 南昌航空大学江西省光电信息科学技术重点实验室;2. 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（62101230,42175130,51865040）；;江西省自然科学基金（20202BABL212011,20202BABL211010,20202BABL212013,20203BBG73039,20224BAB202006）； |
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| 摘 要： | 针对超高品质因子Q值光学微腔实验系统的光谱数据采集难题，设计了一款针对光学微腔的光谱信号采集系统。对光谱信号采集系统进行了基本功能验证，证明了系统的稳定性和实用性；分别测试了基于电弧放电法制备的光纤微球腔与基于超精密抛光法制备的氧化硅晶体微盘腔。采集了光纤微球腔和氧化硅晶体微盘腔的透射谱，并对其模式谱线进行追踪。结果表明：光纤微球腔的Q值达到2.26×106，氧化硅晶体微盘腔的Q值达到109；采集系统具有很好的消噪功能，模式谱线能长时间保持稳定。针对超高Q值光学微腔开发的光谱信号采集系统具有很高的可靠性，可用于微腔光子学系统以及后续微腔传感应用开发。
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| 关 键 词： | 集成光学 光学微腔 光谱采集 微腔传感 品质因子 |
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