| 基于过焦扫描光学显微镜的光学元件亚表面缺陷检测方法 |
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| 引用本文： | 王娜,刘立拓,宋晓娇,王德钊,王盛阳,李冠楠,周维虎.基于过焦扫描光学显微镜的光学元件亚表面缺陷检测方法[J].光学学报,2023(21):120-127. |
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| 作者姓名： | 王娜 刘立拓 宋晓娇 王德钊 王盛阳 李冠楠 周维虎 |
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| 作者单位： | 1. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;2. 中国科学院微电子研究所光电中心;3. 长春理工大学光电工程学院;4. 北京航空航天大学仪器科学与光学工程学院 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划（2020YFB2007502）； |
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| 摘 要： | 微/纳米尺度亚表面缺陷会降低光学元件等透明样品的物理特性，严重影响光学及半导体领域加工制造技术的发展。为了快速、无损检测透明样品亚表面缺陷，本文针对光学元件亚表面内微米量级缺陷的检测需求，提出了一种基于过焦扫描光学显微镜（TSOM）的检测方法。利用可见光光源显微镜和精密位移台，沿光轴对亚表面缺陷进行扫描，得到亚表面缺陷的一系列光学图像。将采集到的图像按照空间位置进行堆叠，生成TSOM图像。通过获得所测特征的最大灰度值来获得亚表面缺陷的定位信息。提出方法对2000μm深亚表面缺陷的定位相对标准差达到0.12%。该研究为透明样品亚表面缺陷检测及其深度定位提供了一种新方法。
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| 关 键 词： | 亚表面缺陷 缺陷检测 过焦扫描光学显微镜 深度定位 |
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