原子层沉积与聚焦离子束切片法制备X射线波带片 |
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引用本文: | 谭明生,明帅强,吴雨菲,卢维尔,李艳丽,孔祥东,刘海岗,夏洋,韩立.原子层沉积与聚焦离子束切片法制备X射线波带片[J].光学学报,2023(11):308-316. |
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作者姓名: | 谭明生 明帅强 吴雨菲 卢维尔 李艳丽 孔祥东 刘海岗 夏洋 韩立 |
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作者单位: | 1. 中国科学院微电子研究所;2. 中国科学院大学;3. 中国科学院电工研究所;4. 中国科学院上海高等研究院上海同步辐射光源 |
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摘 要: | 针对X射线波带片对大高宽比的应用需求,采用原子层沉积法在光滑的金属丝表面生长膜厚可高精度控制的多层膜环带结构,再利用聚焦离子束切片技术获得大高宽比的多层膜X射线波带片。采用复振幅叠加法设计了以Al2O3/HfO2分别为明环和暗环材料的X射线波带片,实验上利用原子层沉积在直径为72μm的金丝表面交替沉积了10.11μm的Al2O3/HfO2多层膜,环带数为356,总直径为92.22μm,最外环宽度为25 nm。通过聚焦离子束切割得到高为1.08μm、高宽比达43∶1的X射线多层膜菲涅耳波带片。该波带片应用于上海光源(BL08U1A)软X射线成像线站时,在1.2 keV X射线下实现聚焦成像功能,展现出利用该技术制备多层膜X射线波带片的潜力。
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关 键 词: | X射线菲涅耳波带片 原子层沉积 聚焦离子束 大高宽比 多层膜 |
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