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能动变形反射镜波面误差特性分析及实验研究
引用本文:杨李成,凌宁.能动变形反射镜波面误差特性分析及实验研究[J].光学学报,2009,29(3).
作者姓名:杨李成  凌宁
作者单位:中国科学院光电技术研究所,四川成都,610209
摘    要:对能动变形反射镜波面误差进行了理论分析和实验研究.在对能动变形反射镜波面误差进行理论分析和实验研究的基础上,利用有限元对37单元能动变形反射镜低频象差补偿能力进行了相关的分析和计算,结合相关实验确定了能动变形反射镜的主要参数,成功研制出了曲率半径1926 mm、口径300 mm的37单元球面能动变形反射镜.经实验测定校正误差前、后镜面面形的PV值(波前峰谷差值)和RMS值分别为:0.545γ、0.08γ及0.239γ、0.031γ,从实测结果口I以看到取得了明显的校正效果.并且在研制过程中对镜面加工、驱动器极头粘接等技术和工艺问题进行了有效地探索和研究,从而为能动变形反射镜进一步的研制工作奠定了良好的基础.

关 键 词:能动变形反射镜(ADM)  有限元法  影响函数  误差分析

Analysis on Wavefront Errors of Active Deformable Mirror
Yang Licheng,Ling Ning.Analysis on Wavefront Errors of Active Deformable Mirror[J].Acta Optica Sinica,2009,29(3).
Authors:Yang Licheng  Ling Ning
Abstract:
Keywords:
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