| 模拟退火法在吸收薄膜的椭偏反演算法中的应用 |
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| 引用本文： | 廖清君,王植恒,王磊,周传宏,赖成军,刘细成.模拟退火法在吸收薄膜的椭偏反演算法中的应用[J].光学学报,2002,22(6):83-687. |
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| 作者姓名： | 廖清君 王植恒 王磊 周传宏 赖成军 刘细成 |
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| 作者单位： | 四川大学物理系,成都,610064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (6 98880 0 2 ) |
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| 摘 要： | 将一种广泛用于求解复杂系统优化问题的技术－－模拟退火法－－用来求解椭偏反演方程。首先假设一个薄膜模型，计算出其相应的椭偏参数（Ψ，Δ）的值，在这个计算值的基础上加入不同标准偏差的高斯噪声；然后将加入噪声后的值（Ψm,Δm)作为模拟的测量数据，采用模拟退火算法进行求解，验证得知这种方法求得的薄膜参数很接近于假设的薄膜模型参数的真值，与其他文献的报道结果一致，而且在扩大搜寻范围时，仍然可以得到准确解，从而证明了该方法的可行性以及有效性。
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| 关 键 词： | 椭偏反演算法 椭圆偏振术 吸收薄膜 模拟退火 测量方法 椭偏反演方程 |
Ellipsometric Data Inversion of Absorbing Films by Simulated Annealing |
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| Liao Qingjun,Wang Zhiheng,Wanglei,Zhou Chuanhong,Lai Chengjun,Liu Xicheng.Ellipsometric Data Inversion of Absorbing Films by Simulated Annealing[J].Acta Optica Sinica,2002,22(6):83-687. |
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| Authors: | Liao Qingjun Wang Zhiheng Wanglei Zhou Chuanhong Lai Chengjun Liu Xicheng |
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| Keywords: | ellipsometry absorbing films simulated annealing algorithm |
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