投影光刻物镜的计算机辅助装调 |
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引用本文: | 赵菲菲,唐剑宇,黄玮,许伟才.投影光刻物镜的计算机辅助装调[J].光学学报,2014(6):206-211. |
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作者姓名: | 赵菲菲 唐剑宇 黄玮 许伟才 |
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作者单位: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学;常州市瑞得仪器有限公司; |
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基金项目: | 国家重大专项基金(2009ZX02205) |
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摘 要: | 针对投影光刻物镜苛刻的像质要求,将计算机辅助装调(CAA)技术引入投影光刻物镜的装调过程中,建立了相应的数学模型。选取33个视场Fringe Zernike多项式的4~37项,以及畸变作为校正对象,并选取19个结构参量作为补偿器。通过将CODE V的宏功能和Matlab结合,采集灵敏度矩阵和像质数据。提出用奇异值分解求加权最小二乘解的方法计算补偿量,通过权重因子实现对不同视场上不同Zernike项系数或畸变的改进。将补偿后光刻物镜的性能和理想光刻物镜对比,发现相比于设计镜头,装调后镜头的平均波前均方根(RMS)大约差0.004λ,平均畸变大约差1nm,该方法可以将系统波像差和畸变恢复到接近设计水平。
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关 键 词: | 光学设计 计算机辅助装调 投影光刻物镜 奇异值分解 畸变 |
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