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ZnO薄膜的光学性质研究
引用本文:贺洪波,易葵.ZnO薄膜的光学性质研究[J].光学学报,1998,18(6):99-802.
作者姓名:贺洪波  易葵
作者单位:中国科学院上海光学精密机械研究所
摘    要:采用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上成功地淀积c轴取向性好的ZnO薄膜。经过优化计算,获得并分析了不同氧分压下制备的ZnO薄膜的折射率n和消光系数k的数值;同时得到了吸收光学带隙Eopt,用能带模型解释了Eopt的变化规律。

关 键 词:薄膜  光学性质  吸收谱  光学带隙  氧化锌薄膜
收稿时间:1997/7/10

Optical Properties of ZnO Thin Films
Abstract:Zinc oxide films of good c—axis preferred orientation have been deposited onto glass substrates using direct—current reactive magnetron sputtering. After optimizing calculation, analyses have been made of refractive index n and extinction coefficient of ZnO thin films prepared at different Ar/O2 proportions. Moreover, absorption spectrum and optical band—gap Eopt are derived and the variation of Eopt is explained by all energy band model.
Keywords:ZnO thin films  optical properties  absorption spectrum  optical band—gap
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