首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     检索      

“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计
引用本文:何晓平.“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计[J].工程物理研究院科技年报,2004(1):224-225.
作者姓名:何晓平
摘    要:“叉指”式静电伺服微加速度计具有零频率响应、精度高、可批量加工等优点,成为中高精度加速度计的主要研究对象。利用MEMS技术加工这种加速度计敏感芯片的各组件是波形加工的,无需装配,这个一次加工成型的芯片应同时满足微加速度计的多项性能指标,故设计时需兼顾多个参数。

关 键 词:微加速度计  敏感芯片  静电伺服  设计  批量加工  MEMS技术  频率响应  性能指标
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号