“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计 |
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引用本文: | 何晓平.“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计[J].工程物理研究院科技年报,2004(1):224-225. |
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作者姓名: | 何晓平 |
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摘 要: | “叉指”式静电伺服微加速度计具有零频率响应、精度高、可批量加工等优点,成为中高精度加速度计的主要研究对象。利用MEMS技术加工这种加速度计敏感芯片的各组件是波形加工的,无需装配,这个一次加工成型的芯片应同时满足微加速度计的多项性能指标,故设计时需兼顾多个参数。
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关 键 词: | 微加速度计 敏感芯片 静电伺服 设计 批量加工 MEMS技术 频率响应 性能指标 |
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