工艺参数对铀表面铝镀层热应力分布影响 |
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引用本文: | 董平,江帆,李瑞文,陈丕恒.工艺参数对铀表面铝镀层热应力分布影响[J].工程物理研究院科技年报,2004(1):274-274. |
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作者姓名: | 董平 江帆 李瑞文 陈丕恒 |
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摘 要: | 为了防止铀的腐蚀,采用在铀表面磁控溅射镀铝,但使用中发现铝镀层内产生了较大的应力,影响镀层结合强度及使用性能。通常认为,薄膜内的应力有热应力和生长应力两种。文中通过改变沉积温度、镀层厚度以及镀层力学性能分数,研究它们对镀层热应力分布的影响,从而为改善铀表面铝镀层内热应力分布提供理论依据。
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关 键 词: | 热应力分布 铝镀层 分布影响 表面 工艺参数 铀 磁控溅射 使用性能 |
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