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薄膜物理与制备技术
作者姓名:
吴卫东 冯建鸿 许华 张继成 李俊 陈志梅 唐晓红 黄勇 何智兵 唐永建
摘 要:
薄膜物理和制备是ICF物理实验制靶中的一项重要环节,随着ICF实验的深入,薄膜靶和薄膜靶零件作为一种重要的靶型,其需求呈现多样化、复杂化和精密化。探索各种薄膜靶的结构与性能、新的制备技术成为靶制备科学的重要研究内容。
关 键 词:
制备技术 薄膜物理 ICF实验 薄膜靶 物理实验 制备科学 多样化 精密化
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