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| 超声调阻技术 | |
| 引用本文： | 杨周铜.超声调阻技术[J].应用声学,1988,7(2):39-40. |
| 作者姓名： | 杨周铜 |
| 作者单位： | 电子工业部第十研究所 |
| 摘 要： | 本文介绍了超声切削用于薄膜电阻调整技术(简称超声调阻技术)的特点和原理,并就超声调阻工艺参数的选择和应用范围进行了讨论。 |
| 关 键 词： | 薄膜电阻 超声切削 调阻 工艺参数 应用范围 金刚石 调整技术 原理 电阻材料 稳定性 |
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