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加工微波集成电路基片的专用超声设备研制成功
引用本文:
杨周铜.加工微波集成电路基片的专用超声设备研制成功[J].应用声学,1987,6(1):44-44.
作者姓名:
杨周铜
摘 要:
随着微波集成电路的广泛应用,解决生产集成电路基片的加工问题显得更加重要.电子工业部第十研究所经几年努力,研制成功CF-250A型超声设备.该设备除用于加工微波集成电路的高铝陶瓷基片外,也可用于加工厚度较薄的其它脆性材料. CF-250A型超声加工设备于1985年研制成功,同年5月通过技术鉴定,并投入小批量生产.设备的主要技术指标为 工作频率 20kHz;最大输出功率250W; 进给 力灵敏度 ≤200g(约2N)
关 键 词:
微波集成电路基片
超声设备
研制成功
A型超声
专用
高铝陶瓷
加工设备
加工问题
最大输出功率
脆性材料
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