首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部专业
化学
晶体学
力学
数学
物理学
学报及综合类
按
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目英文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
检索
新的压电薄膜——Ta
2
O
5
引用本文:
刘献铎.新的压电薄膜——Ta
2
O
5
[J].应用声学,1986,5(1):48-48.
作者姓名:
刘献铎
摘 要:
据报道,日本Yasuhiko Nakagawa和Yasuo Gomi用磁控反应直流二极管溅射法将Ta_2O_5,沉积在石英基片上,得到了单晶薄膜,并且首次观察到了这种薄膜的压电现象.用叉指换能器在Ta_2O_5薄膜上成功地激发了声表面波.在Ta_2O_5/熔石英基片上,当薄膜厚度h在hk(=2πh/λ)=1.0时,其机电耦合系数k~2=0.5%,它可与熔石英基片上ZnO薄膜的机电耦合系数相比拟. 利用Ta_2O_5单晶的X射线衍射数据,推断出Ta_2O_5
关 键 词:
Ta
2
O
5
压电薄膜
熔石英
压电现象
叉指换能器
石英基片
单晶薄膜
机电耦合系数
声表面波延迟线
溅射法
本文献已被
CNKI
等数据库收录!
点击此处可从《应用声学》浏览原始摘要信息
点击此处可从《应用声学》下载
免费
的PDF全文
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号