| 基于指条厚度优化的冷凝式SAW气体传感器灵敏度提升方法 |
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| 引用本文： | 邹亮桃,刘久玲,游然,刘明华,任伟,何世堂.基于指条厚度优化的冷凝式SAW气体传感器灵敏度提升方法[J].应用声学,2022,41(3):412-420. |
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| 作者姓名： | 邹亮桃 刘久玲 游然 刘明华 任伟 何世堂 |
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| 作者单位： | 中科院声学研究所,中科院声学研究所,中科院声学研究所,中科院声学所,中科院声学所,中科院声学所 |
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| 摘 要： | 该文通过对声表面波谐振器指条厚度的优化提升了冷凝式气体传感器的灵敏度。基于流固耦合理论，利用有限元商业软件建立了有液膜负载和无液膜负载下的多物理场三维周期模型，并提取了相应的耦合模参量，利用耦合模模型及P矩阵级联技术，计算了不同指条厚度下液膜负载引起的传感器响应，获得了冷凝式声表面波气体传感器灵敏度随指条厚度的变化关系。实验中制备了6种不同电极厚度的声表面波谐振器，并利用甲基膦酸二甲酯实验样品完成了传感器的响应测试，验证了理论分析的正确性。结果表明，冷凝式声表面波气体传感器的灵敏度随指条厚度的增加先变大后减小，最优归一化电极厚度为6.4%～7.6%之间。该研究结果对进一步提升传感器灵敏度具有重要意义。
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| 关 键 词： | 冷凝式声表面波气体传感器 流固耦合理论 指条厚度优化 灵敏度 |
| 收稿时间： | 2020/6/24 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2022/5/7 0:00:00 |
The sensitivity enhancement method of SAW Gas Sensor with Direct-Condensation Mode based on electrode thickness optimization |
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| zouliangtao,liujiuling,youran,liuminghu,renwei and heshitang.The sensitivity enhancement method of SAW Gas Sensor with Direct-Condensation Mode based on electrode thickness optimization[J].Applied Acoustics,2022,41(3):412-420. |
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| Authors: | zouliangtao liujiuling youran liuminghu renwei and heshitang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SAW Gas Sensor with Direct-Condensation Mode the fluid-solid coupling theory electrode thickness optimization sensitivity |
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