| 圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制 |
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| 引用本文： | 杨楚威,李俊红,黄歆,汪承灏.圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制[J].应用声学,2006,25(4):197-200. |
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| 作者姓名： | 杨楚威 李俊红 黄歆 汪承灏 |
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| 作者单位： | 中国科学院声学研究所,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备，并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述。圆形振动膜的压电传卢器与以前方形振动膜结构设计相比，较大幅度提高了传声器的灵敏度和成品率，灵敏度达到-70dB（相对于1V／Pa），成品率达到80％。
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| 关 键 词： | 硅微传声器 圆形振动膜 压电薄膜 |
| 收稿时间： | 2005-12-09 |
| 修稿时间： | 2005-12-092006-03-21 |
Silicon based ZnO piezoelectric micro-microphone with circular vibrating film |
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| YANG Chu-Wei,LI Jun-Hong,HUANG XIN and WANG Cheng-Hao.Silicon based ZnO piezoelectric micro-microphone with circular vibrating film[J].Applied Acoustics,2006,25(4):197-200. |
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| Authors: | YANG Chu-Wei LI Jun-Hong HUANG XIN and WANG Cheng-Hao |
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| Institution: | Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080 |
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| Abstract: | This paper presents the fabrication of a silicon based ZnO piezoelectric micro- microphone with novel circular vibrating film.Micromachined techniques to fabricate the device are described in detail.The circular vibrating film structure of this microphone is a modification of the rectangular one,and the performances of the device are improved. The sensitivity is-70dB(ref.1V/Pa)and the rate of finished product is 80%. |
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| Keywords: | ZnO |
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