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| 隙式耦合SAW卷积器的制备 | |
| 引用本文： | 冯所椿,李丽岩,宗健.隙式耦合SAW卷积器的制备[J].应用声学,1982,1(2):9-12. |
| 作者姓名： | 冯所椿 李丽岩 宗健 |
| 作者单位： | 中国科学院声学研究所 (冯所椿，李丽岩)，中国科学院声学研究所(宗健) |
| 摘 要： | 本文详细地描述了隙式耦合声表面波卷积器的制造过程与方法.我们发展了一种较简单的形成均匀空气隙的技术,即在压电体基底上起积均匀的SiO_2薄膜,作为空气隙的支持物,获得±0.9dB的均匀度.器件的性能良好,卷积效率较高,F_(Te)=-50dBm,动态范围大于70dB,信杂比优于35dB. |
| 关 键 词： | 卷积器 空气隙 压电延迟线 叉指换能器 卷积输出 耦合 压电体 自卷积 掩模版 硅圆片 |
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