| 宽温度范围SAW应变传感器温度与应变解耦研究* |
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| 引用本文： | 李红浪,高星,柯亚兵,程利娜,田亚会.宽温度范围SAW应变传感器温度与应变解耦研究*[J].应用声学,2018,37(1):16-19. |
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| 作者姓名： | 李红浪 高星 柯亚兵 程利娜 田亚会 |
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| 作者单位： | 中国科学院声学研究所 北京;中国科学院声学研究所 北京,中国科学院大学 北京;中国科学院声学研究所 北京;,中国科学院大学 北京;中国科学院声学研究所 北京;中国科学院声学研究所 北京;中国科学院声学研究所 北京,中国科学院大学 北京;中国科学院声学研究所 北京;中国科学院声学研究所 北京;中国科学院声学研究所 北京,中国科学院大学 北京;中国科学院声学研究所 北京;中国科学院声学研究所 北京;中国科学院声学研究所 北京 |
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| 基金项目： | 中国科学院重点部署项目 (KFZD-SW-415), 国家重点研发计划 (2016YFB0402705), 声学所青年英才计划 (QYNC201616) |
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| 摘 要： | 针对宽温度范围应变测量的温度干扰问题,提出并研究了基于双谐振器的声表面波应变传感器。理论上,结合微扰理论、有限元方法、有效介电常数法分析出双谐振器频率与应变、温度的关系公式,进而推导出应变与温度关于这两组谐振器频率变化的表达式。实验上,搭建宽温度范围的实验平台,在Y+34?切向的石英基片上制作该传感器芯片,测得传感器芯片在30?C～180?C下的频率响应,将测得的谐振器频率代入表达式计算得到温度与应变值,与实验中参考温度与应变的值基本吻合。
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| 关 键 词： | 声表面波 应变传感器 宽温度范围 |
| 收稿时间： | 2017/10/31 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2017/12/24 0:00:00 |
Study on temperature and strain decoupling of SAW strain sensor in wide temperature range |
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| LI Honglang,gao xing,KE Yabing,CHENG Lina and TIAN Yahui.Study on temperature and strain decoupling of SAW strain sensor in wide temperature range[J].Applied Acoustics,2018,37(1):16-19. |
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| Authors: | LI Honglang gao xing KE Yabing CHENG Lina and TIAN Yahui |
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| Institution: | Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences,University of Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences,University of Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences,University of Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences,University of Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences;Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Surface acoustic wave(SAW) Strain sensor Wide temperature range |
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